（来源：半导体前沿）
2025年8月18日，至纯科技（维权）旗下子公司上海至纯精密气体有限公司完成首轮数亿元对外融资的工商变更。该轮融资由金桥资本旗下盛盎投资管理的上海浦东智能制造基金领投。
此次融资是金桥资本在先进制造领域布局的重要举措，其首期30亿直投平台已设立，并计划通过参股、并购等方式强化在半导体装备材料等领域的渗透力。
上海至纯精密气体有限公司，成立于2021年，注册地位于上海浦东金桥片区，专注于高纯工艺气体和电子级大宗气体业务。
2022年初，由公司投资和设计建设的国内首座完全国产化的12英寸晶圆大宗气体供应工厂指标完全达标，成功打破半导体级大宗气由国际供应商垄断的格局，实现该制程节点国内自主大宗气站零的突破。
第二座更大规模的气站也在2024年初步建成，并成功为客户供气，进入运营阶段。
2024年度，公司电子材料营业收入1.64亿元，同比增长165.09%。
至纯公司在年报中表示，随着客户的产能爬升，预计2025年大宗气站将为公司贡献更可观的营收及现金流。此次融资将助力其进一步扩大产能和技术升级，巩固在集成电路产业链中的核心供应商地位。
至纯科技曾在互动平台表示，化学品和特气业务是公司未来主要方向，未来将打造半导体高纯工艺系统-半导体设备-大宗气体/化学品全流程供应方案与服务。
来源：官方媒体/网络新闻
会议背景
电子特气是半导体制造中的关键材料，对芯片性能和良率有直接影响，是半导体制造的第二大耗材，占比约14%。2025年，中国电子特气市场规模近300亿，且保持每年10%的增长。
追随空气化工、林德、液化空气、大阳日酸等国际企业的步伐，国内电子特气企业金宏气体、华特气体、南大光电、中船特气和雅克科技等纷纷取得突破。国内企业已经在关键领域实现突破，产品进入台积电、美光、中芯国际等国际头部晶圆厂供应链。然而，高端前驱体和光刻气等仍依赖进口，国产化率低，具备很大的发展潜力。
2024年全球半导体金属/氧化物前驱体市场规模达17亿美元，同比增长15%。中国作为重要市场，亚化咨询预计2028年半导体前驱体市场将达12亿美元。主要受益于存储芯片及逻辑芯片先进制程的需求。伴随中芯、华润、华虹、长江存储、长鑫、等本土晶圆厂扩产，国产前驱体在纯度、定制化解决方案领域替代空间巨大。国内龙头企业雅克科技、南大光电、正帆科技发展迅速，厦门恒坤、上海至纯等在前驱体领域也不断推进。
2025电子特气与半导体前驱体论坛（AESG2025）将于11月5-6日在苏州召开。会议由亚化咨询主办，金宏气体等企业战略支持。将探讨电子特气与前驱体发展现状与趋势，搭建产学研平台，聚焦技术创新、工艺优化、供应链安全与合作，推动半导体核心材料跨越式发展。
会议主题
全球与中国半导体发展的材料需求
半导体特气国产化进程与高端市场突破
电子特气与前驱体在晶圆厂的认证
金属/金属氧化物/硅基前驱体与掺杂材料技术
从实验室到量产：电子气体与前驱体的产业化
ALD/CVD前驱体材料的国产化现状与未来方向
ArF/DUV/EUV光刻过程中的气体纯度与控制技术
光刻胶配套特气的协同创新机遇
电子特气与前驱体分析检测技术与设备
合成、提纯技术（如精馏、吸附）与设备
阀门与配套设备的本土化进展